日本Otsuka大塚FE-3700高精度膜厚測量系統-成都藤田科技提供

產品信息

特殊長度

可以高速、高精度地測量各種玻璃基板上各種薄膜的膜厚和光學常數。除了支持包括下一代尺寸在內的大型玻璃基板外，它還支持 LCD、TFT 和有機 EL。

用法

LCD
ITO / Glass, PI / OC / Glass, CF / Glass, Resist / Glass

TFT
SiN / a-Si / 玻璃

有機EL
有機EL / ITO / 玻璃

PDP
介電層/玻璃

核心特點：

1. 
   

2. 超大基板全覆蓋：專為下一代尺寸玻璃基板設計（支持超長/超寬規格），可高效測量LCD、TFT、有機EL等大型面板，兼容PI、ITO、SiN、介電層等復雜膜層結構。

3. 
   

4. 納米級精度與秒級速度：采用分光干涉+AI算法技術，單點測量時間＜1秒，膜厚精度±0.1nm，光學常數（n/k）解析＜0.5%，滿足量產級質量控制需求。

5. 
   

6. 全場景適配性：從研發實驗室到自動化產線，支持在線（inline）集成，可定制XYZ多軸平臺，實現基板全域厚度分布映射與缺陷快速篩查。

7. 
   

8. 高速量產優化：每小時可檢測超3000點，支持多探頭并行測量，大幅提升玻璃基板（如G8/G10）產線效率，降低設備綜合成本（CoO）。

9. 
   

10. 超薄與超厚膜通吃：量程覆蓋1nm至200μm，適用于OC（光學膠）、Resist（光刻膠）等軟膜與硬質涂層的精準厚度控制。

11. 
    

12. 低維護：非接觸式測量設計，無探針損耗，長期使用穩定性達99.8%，搭配遠程診斷功能，減少停機風險。

日本Otsuka大塚FE-3700高精度膜厚測量系統-成都藤田科技提供